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工业CT测量-塑料齿轮测量的新技术
目前,外齿轮测量技术相对成熟,主要检测手段有齿轮测量中心、坐标测量机、单啮仪、双啮仪等;而内齿轮测量存在的问题还很多,特别是小模数内齿轮(如塑料齿轮注射模的型腔),几乎没有实用的测量手段。近年来,工业CT技术的发展,为解决小模数内齿轮测量问题提供了可能。
一.工业CT测量原理及构成
工业计算机断层扫描成像(industrial computed tomography) 简称工业CT, 是一种依据外部投影重建物体内部结构图像的无损检测技术。工业CT的基本原理是当经过准直且能量为A的射线束穿过被检物时,根据各个透射方向上各体积元的衰减系数μ不同,探测器接收到的透射能量B也不同,按照一定的图像重建算法,即可获得被检工件截面一薄层无影像重叠的断层扫描图像,重复上述过程又可获得一个新的断层图像,当测得足够多的二维断层图像就可重建出三维图像。
CT测量系统主要包括射线源、探测器、扫描系统和软件。射线源常用X射线机和直线加速器。X射线机的峰值能量范围从数10~450keV, 且射线能量和强度都是可调的; 直线加速器的射线能量一般不可调, 常用的峰值射线能量范围在1~16MeV.其共同优点是切断电源以后就不再产生射线,焦点尺寸可达到微米量级。
目前常用的探测器主要有高分辨CMOS半导体芯片、平板探测器和闪烁探测器三种类型。半导体芯片具有*小的像素尺寸和*大的探测单元数,像素尺寸可小到10pm左右。平板探测器通常用表面覆盖数百微米的闪烁晶体(如CsI) 的非晶态硅或非晶态硒做成, 像素尺寸约127mm,其图像质量接近于胶片照相。闪烁探测器的优点是探测效率高,尤其在高能条件下, 它可以达到16~20bit的动态范围, 且读出速度在微秒量级。其主要缺点是像家尺寸较大,其相邻间隔(节距)一般为0.1mm。
工件扫描系统从本质上说是一个位置数据采集系统。工业CT常用的扫描方式是平移-旋转”(TR)方式和只旋转(RO)方式两种。RO扫描方式射线利用效率较高,成像速度较快。但TR扫描方式的伪像水平远低于RO扫方式,且可以根据工件大小方便地改变扫描参数(采样数据密度和扫描范围)。特别是检测大尺寸工件时其优越性更加明显,“源-探测器”距离可以较小,以提高信号幅度等。RO扫描只能检测小尺寸工件,而TR扫捕用于大尺寸工件。
计算机软件无疑是CT的核心技术,当数据采集完成以后,CT图像的质量已经基本确定,计算机软件的好坏就直接影响到图像的重建质量。CT图像重建通常采用卷积反投影法,其优点是图像质量高,易于用硬件设计为专用图像处理机,缺点是只能形成某一断面上的二维灰度信息,不能得到被检测物的整体描述。为提高缺陷判别的准确性,国内外已研发了多种三维投影重建算法。现在已发展到第三代工业CT。
二.小模数齿轮的CT测量
工业CT的种类很多,取决于检测对象的要求,相对于其他零部件,齿轮属于精密件,精度要求高,因而对CT的测量精度有特别要求,目前,CT主要用于小模数小尺寸齿轮测量。国内外生产工业CT的厂家不少,用于精密测量的工业CT并不多,主要制造商都在德区, 如Carl Zeiss等,值得注意的是, 这些厂家大都是精密量仪生产厂。
目前工业CT用于几何量精密测量的主要优点是:无损检测、能获得被测对象的内外几何信息、在相对较短的时间内能获取高密度数据点;主要缺点有:迄今没有可接受的测试验收办法、影响测量的因素太多且复杂、受测量误差影响其测量形状误差的能力有限、大多数情况下不知道测量不确定度。
针对这些问题的主要研究对策是:将材料标准用于误差修正以便实现量值传递、将蔡司三坐标测量机中的一些研究成果移植到CT精密测量中、用材料标准和特性去定量化CT测量。
关于同步工业CT测量
德国柏林亥姆霍兹中心和PTB(德国国家计量研究院) 采用同步计算机断层扫描(SY-CT)技术研究了小模数内齿轮测量,并与微型坐标测量机的测量结果进行了比较,SY-CT具有单频放射、光子流密度高和几何光束平行的优点,与传统的工业CT系统相比,这种特殊的SY-CT具有更高的空间分辨,能够精确获得物体微小的内部结构。
(1)测量中所用CT的参数如下
①能量:60keV。
②体素大小:2.2微米。
③探测器:偏酸镉闪烁物,CCD摄像机(显示屏分钟率3209×801像素) 。
④曝光时间:3S。
⑤授影大小:2500(角度:0度~180度)
(2) 测量流程
同步工业CT测量内齿轮误差的过程,内齿轮的同步X射线数影图像经并行重构算法处理后得到一系列体素数据,再用自适应阀值算法获得内表面和外表面数据,这些表面数据是齿轮参数分析等后续评估的基础。
(3)测量结果
采用VG Studio MAX 2.04软件进行CT数据分析, 先定义齿轮坐标系、确定兴趣区域(ROI) , 沿轴向在-0.2~-1.3mm高度范围内, 按步长为一0.1mm确定测量横截面(如下图所示)。然后提取齿廓表面数据,每个齿侧面上的数据分析间隔设定在展开长度0.95~1.25mm范围内。被提取的表面数据点的数量(10~13齿廓)为953382个。
工业CT在塑料齿轮方面虽然存在一些需要提高的地方,但也展示了广阔的前景。
关键词:蔡司工业CT,工业CT,工业CT测量
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