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高精确的保障 | 浅谈空气轴承技术

发布时间:2015-09-21 09:31:35    点击次数:次   

概要
空气轴承作为桥式坐标测量机较关键的部件之一,有效确保高精度及高效测量,其利用压缩空气于相对运动部件之间形成气膜 (空气间隙)以支撑负载,具有众多优点,包括但不限于摩擦系数小、工作平稳、运动精度高、磨损小等!

气浮轴承

特点及收益:
以蔡司测量机为例,气膜厚度可维系于小至6微米,越小的气膜厚度确保更佳的精度稳定性、整体刚性及更少的耗气量,亦可降低长期与之相关的能源成本。

气浮轴承2


极端测试特性曲线:蔡司薄膜空气轴承技术 VS. 标准空气轴承技术

气浮轴承3


经极端变负载测试(250N - 2500N)可知,标准空气轴承(上图蓝色曲线)伴随负载变量递增, 气膜厚度由25um急剧递减至4um。相较而言,某规格Carl Zeiss(CZ)薄膜空气轴承技术(上图红色曲线)气膜厚度变化平缓,较大化降低负载的影响,呈现更佳的稳定性。
蔡司四面环抱式空气轴承分布

数据显示


蔡司测量机三轴均采用四面环抱式空气轴承,各轴承之受力沿轴线方向(参看下图红色箭头),而无其它方向分力,有效限制滚转运动、确保驱动平稳及精度稳定,实际应用体现于测量机的重复性能等方面。

技术人员调试

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